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分辨率測試卡

  • 產品型號:RT RC-05B
  • 更新時間:2024-05-10

簡要描述:分辨率測試卡是一款采用最新半導體光刻技術制作的微型測試卡。它用于校準和監控系統分辨率,確保微焦點或納米焦點X射線檢測系統獲得高質量的結果。

產品詳情
品牌日本JIMA

日本JIMA RT RC-05B分辨率測試卡,JIMA分辨率測試卡詳細介紹:

JIMA RT RC-05B分辨率測試卡是一款采用最新半導體光刻技術制作的微型分辨率測試卡。


RC-05B 分辨率測試卡用于校準和監控系統分辨率,確保微焦點或納米焦點X射線檢測系統獲得高質量的結果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m50 µ m)的分辨率。這對應于6微米和100微米(6 µ m100 µ m)之間的焦斑尺寸。

分辨率測試卡

16I&T布局,2x2 mm,8x8 mm硅基,如上圖

下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像

分辨率測試卡

Au Slit的數量為3行和2個空格

寬度310 μmT形布局

寬度1550 μmI形布局L/S寬度

L/S寬度:3、45、6、7、89、10、1520、25、30、35404550 μm


 
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